BSEC如今拿到了ArF准分子激光器和800nm制程工艺专利技术,还有独创的磁悬浮式双工作台系统,既不能生产8英寸晶圆、800nm制程工艺的光刻机,也不能生产6英寸晶圆、800nm制程工艺的半导体生产线。
BSEC还要去买先进的光学系统,进口6英寸晶圆、光刻胶、掩膜版等材料和设备,经过系统合成,就是能生产6英寸晶圆、800nm制程工艺的光刻机,只能算组装。
前世ASML生产的EUV光刻机,据说90%的零部件都是从全球5000多家公司采购的,但EUV光源(收购了Cymer)和双工作台系统等关键技术是自己的,还参股了Zeiss SMT AG近三成的股权,将光刻机的三大核心技术掌握在手里,由于垄断经营,净利润高达五成,全球5000多家零部件公司排队供应零部件。
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