实验室,许青舟没参与卡森等人的闲聊,注意力集中在参数面板上。
CVD生长,在H?/Ar(流量比1:10)气氛中升温至1050°C,通入CH?(10sccm)生长,接下来就是长达4个小时的等待。
搞定完第一步,许青舟留守实验室,威尔森三个人去吃饭,没多久,实验室中仅仅剩下设备运行时的低沉
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