800nm制程工艺的专利技术对于gca来说如同鸡肋,但对于bsec如同神助,掌握后就能跨越1um制程工艺,掌握800nm制程工艺技术。
拥有了193nm的arfi准分子激光器的制造技术和800nm制程工艺的专利技术,但bsec还不能生产自主知识产权的1um制程工艺的光刻机。
为了将来不被美国政府卡脖子,未雨绸缪,bsec要掌握生产光刻机的三大核心技术:光源系统、光学系统和工作台系统,不断升级换代。
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