投资1亿元，带领光刻机光源研究所，静下心来开始研发EUV。
作为上市公司，BSEC发布公告，投资1亿元继续研究193nm波长的世界级难题。
即使能得到蔡司公司最先进的透镜和反射镜系统，有资金支持，孙健也怀疑BSEC研究院能否在20年内研制成功EUV光刻机？
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作为上市公司，BSEC发布公告，投资1亿元继续研究193nm波长的世界级难题。
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