导体公司的180nm制程工艺的半导体生产已经试生产,我建议曙光东芝晶圆公司从东芝公司引进一条12英寸晶圆、90nm制程工艺的半导体生产线,安装20台尼康公司生产的90nm制程工艺的光刻机和bSEc生产的40台180nm制程工艺的光刻机。」
孙健看到180nm制程工艺的半导体生产线试生产,高兴之余又发了愁,比肩pentium4的GZ-cx4正在研究之中,一旦明年研究成功,到时又面临「有米无锅」的局面。
预测美国商务部不会容许GcA出口12英寸晶圆、90nm制程工艺的光刻机给中国,孙健从尼康公司尝试一下。
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