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卡夜阁 > 都市言情 > 我的一九八五 > 第一三七章 折中方案

第一三七章 折中方案(1 / 4)

“各位董事,要是euv&nbp;联盟在未来二年内从理论上证明研制euv光刻机的技术可行,将这个宝贵的机会和重任交给ga,公司不可能放弃,但投资巨大,半导体产业陷入衰退又不可避免,避免两线作战,造成资金捉襟见肘,我们只能将重心放在euv光刻机的研制上。我建议艾德里安先生和汤普森院长出面找vg商谈,联合开发157n激光器。”

孙健估计,euv&nbp;联盟在明年底前就能证明制造euv光刻机在理论上的可行性,但euv光刻机量产最起码还需要10年,如今也不能告诉大家,到时由be免费提供193n浸没式光刻机专利技术给ga。

be是在ga拥有的第一代193narf准分子激光器专利技术基础上研发成功193n浸没式光刻机技术,核心还是ga拥有技术专利的193n准分子激光器,ga研制的第二代、第三代193n准分子激光器也授权be技术;虽然浸没式光刻技术属于be重新开发的公司发明专利,但按照当初签订的专利技术授权转让合同,要免费授权给ga使用,就像ga去年研发成功的第三代(12英寸晶圆、90n制程工艺)磁悬浮式双工作台系统,专利还是属于be,授权ga免费使用。

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