之间的合作已经摇摇欲坠，随时有可能破裂。
佳能公司和尼康公司利用光源采用氟气准分子激光，发出波长157nm附近的真空紫外光，看见了突破193纳米瓶颈的希望，正尝试研发出原型机。
因此，佳能公司不再需要跟苏业豪合作，态度日渐消极，把人手抽调去搞157纳米的光刻机。
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