“比如修改后的光刻机的光源，虽然还是使用的极紫外光,但它采用一种叫做‘离轴照明’技术。”
“和原先的硅基芯片光刻机相比,这种‘离轴照明’技术可以在一定程度上提高分辨率、可以提升焦深、可以提高对比度等等。”
“更适合碳基芯片的光蚀。”
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