光刻机这东西的运行原理其实比较简单。
首先是光源部件，激光器发光，经过矫正后，进入能量控制器、光束成型装置等设备，再进入光掩膜台。
光掩膜台上面放的就设计公司做好的光掩膜，之后经过物镜投射到曝光台。
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