“上个世纪六十年代，我国便研制成功了第一块硅基数字集成电路，也就是我们现在所说的芯片。
要知道在当时，霓虹与高丽甚至是美利坚的企业也才刚刚进入这个领域。
直到七十年代末年，美利坚GCA公司推出世界第一台商品化的分步式投影光刻机——DS1W4800，光刻精度约3微米。
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